用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置专利类型：发明专利

发明人：马宏图,张丽娜,李琳琳,李国庆,何伟,李帅,韩华申请号：CN201910956375.8申请日：20191010公开号：CN1101156A公开日：20191206

摘要：本发明涉及薄膜制备技术，具体涉及一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置。为了解决现有方式得到的镀膜条带连续性、导电性差的问题，本发明提出的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置包括基体和控制部，基体上设置有：转接口，其用于使基体连接到镀膜仪上；条带运载头，其末端固定在基体上，在基体连接于镀膜仪之后，条带运载头的前端伸入到镀膜仪的真空腔内；主腔室，在基体连接于镀膜仪之后，主腔室与镀膜仪的真空腔连通；送带卷轴和收带卷轴，其位于主腔室内；控制部能够控制送带卷轴和收带卷轴转动以使条带沿条带运载头绕转，并因此使条带从送带卷轴运转到收带卷轴上。利用本发明的装置能够有效改善制备的连续导电薄膜材料表面导电性差的问题。

申请人：中国科学院自动化研究所,聚束科技(北京)有限公司

地址：100190 北京市海淀区中关村东路95号

国籍：CN

代理机构：北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙)

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