专利名称:再生装置以及再生方法专利类型:发明专利发明人:高本德男
申请号:CN200780048311.3申请日:20071227公开号:CN101600517A公开日:20091209
摘要:本发明提供一种再生装置以及再生方法。在清洗等处理中,在使用清洗液的同时,可以对使用过的清洗液进行再生,作为再生清洗液来再次使用。提供一种液体再生装置,其具备:对使用清洗液的处理装置的使用过的清洗液进行回收的回收单元;对回收的使用过的清洗液进行再生的再生单元;向所述处理装置供给所述再生清洗液的供给单元;以及控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元的控制单元。为了使所述处理装置和所述再生单元可以同时运转,还可以具备在它们之间供给使用过的清洗液以及所述再生清洗液的连接单元。
申请人:平田机工株式会社
地址:日本东京都
国籍:JP
代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司
代理人:许静
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