一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法[发明专利]

来源：钮旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及

方法

专利类型：发明专利

发明人：吴永前,黄传科,范斌,刘锋伟申请号：CN201410294133.4申请日：20140625公开号：CN104075667A公开日：20141001

摘要：本发明涉及一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法，属于光电技术检测领域，所述测量系统包括激光器、扩束系统透镜组、刻蚀不透明点的平面透镜、成像CCD和一维电控移动台构成；本发明基于环形扫描斜率提取的非球面面形测量，无需补偿器，动态范围大，精度高，其研究成果可用于主镜初抛阶段的检测，解决相关技术瓶颈，具有重要的工程应用价值和现实意义。

申请人：中国科学院光电技术研究所

地址：610209 四川省成都市双流350信箱

国籍：CN

代理机构：北京科迪生专利代理有限责任公司

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