您的当前位置：首页平行度测定方法

平行度测定方法

来源：钮旅网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200310116917.X （22）申请日 2003.12.01 （71）申请人富士能株式会社

地址日本

（10）申请公布号 CN1624421A （43）申请公布日 2005.06.08

（72）发明人植木伸明

（74）专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人寿宁

（51）Int.CI

G01B11/26; G01B9/02;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

平行度测定方法

（57）摘要

一种平行度测定方法，在用干涉距离短的

第1光束对被检测体各光反射面进行干涉条纹测定时，也用干涉距离长的第2光束进行倾斜校正面测定，并根据来自各倾斜校正面干涉条纹图像信息的校正数据，对各光反射面倾斜信息校正，高精度进行光反射面间平行度测定。将载物台30设于第1位置，利用干涉距离短的光源11发出的

光，得到光反射面20a第1干涉条纹图像信息，利用干涉距离长的光源12发出的光得到反射镜26的第2干涉条纹图像信息。将载物台30设于第2位置，得到光反射面20b第3干涉条纹图像信息及反射镜26第4干涉条纹图像信息。求第2、第4干涉条纹图像信息的倾斜信息，而对第1、第3干涉条纹图像信息的倾斜信息的差进行校正，且测定光反射面20a、b间的平行不均。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2005-06-08 公开

2005-08-10 实质审查的生效 2007-03-14 授权 2015-01-14

专利权的终止

法律状态

公开

实质审查的生效授权专利权的终止

权利要求说明书

平行度测定方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

平行度测定方法的说明书内容是....请下载后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文