改善太阳能电池扩散的方法[发明专利]

来源：钮旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：改善太阳能电池扩散的方法专利类型：发明专利

发明人：孙永明,丁孔奇,李树贵,周炜,熊光宇,徐俊申请号：CN200810046966.3申请日：20080229公开号：CN101237010A公开日：20080806

摘要：本发明公开了一种改善太阳能电池扩散的方法，其步骤是：A.采用硅原料、导电类型P型；B.扩散：硅片在高温中与氧气，三氯氧磷发生化学反应，生成磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气；C.通氧再分布：再通入氧气与未消耗完的PCl继续反应生成磷：D.与再分布相结合的磷原子Drive in过程；E.经过上述扩散，再分布和Drive in过程之后表面方块电阻为28～38Ω/□。本发明该可提升高电阻率单晶硅太阳能电池的转换效率高，扩散后硅片表面扩散均匀，方法易行，操作简便，成本低廉。

申请人：珈伟太阳能(武汉)有限公司

地址：430063 湖北省武汉市武昌区铁机路22号

国籍：CN

代理机构：武汉宇晨专利事务所

代理人：王敏锋

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