一.125*125单晶硅片:按对角线长分2类,150mm和165mm。
1.对角线长150mm;
Cosθ=62.5/75=0.8333
得:θ
=33.557°
扇形面积:S1=(2θ
/360°)*πR2
=(2*33.557°/360°)*π(75)2
=3294.45mm2
大三角面积:S2=(ab /2)sin2θ
=(75*75/2)sin(2* 33.557° =2591.10mm2
弧形面积:S
弧
= S1 - S2
=703.35 mm2
单晶片面积:S=S
圆
- 4S弧
=π(75)2 - 4*703.35 mm2
=17671.46 - 2813.40 mm2
)
=14858.06 mm2
=148.58cm2
2.对角线长165mm(计算同上): 得:S=182.42 mm
2
= 1.82 cm2
二.156*156单晶硅片面积:
单晶片长156mm,对角线长200mm(计算同上): 得:S=234.69 mm
2
=238.95 cm2
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