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单晶片面积粗略计算

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硅单晶片面积粗略计算

一.125*125单晶硅片:按对角线长分2类,150mm和165mm。

1.对角线长150mm;

Cosθ=62.5/75=0.8333

得:θ

=33.557°

扇形面积:S1=(2θ

/360°)*πR2

=(2*33.557°/360°)*π(75)2

=3294.45mm2

大三角面积:S2=(ab /2)sin2θ

=(75*75/2)sin(2* 33.557° =2591.10mm2

弧形面积:S

= S1 - S2

=703.35 mm2

单晶片面积:S=S

- 4S弧

=π(75)2 - 4*703.35 mm2

=17671.46 - 2813.40 mm2

)

=14858.06 mm2

=148.58cm2

2.对角线长165mm(计算同上): 得:S=182.42 mm

2

= 1.82 cm2

二.156*156单晶硅片面积:

单晶片长156mm,对角线长200mm(计算同上): 得:S=234.69 mm

2

=238.95 cm2

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